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    • 光電行業用超純水設備
    • 文章作者:天津水處理工程師發布日期:2015-12-21 11:17文章來源:天津超純水設備公司

      一、光電行業用超純水設備水質標準

      萊特萊德天津水處理設備公司電子級超純水設備出水水質完全符合ASTM純水水質標準、我國電子工業部電子級水質技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)、我國電子工業部高純水水質試行標準、美國半導體工業用純水指標、日本集成電路水質標準、大規模集成電路水質標準。



    超純水設備
     

      二、光電行業用超純水設備對水質的要求

      新興的光電材料生產、加工、清洗,LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質燈管顯像管、微電子工業、FPC/PCB線路板、電路板、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高,這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。

      三、光電行業用超純水設備應用場合

      1、電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗。

      2、電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液。

      3、顯像管和陰極射線管生產、配料用純水。

      4、黑白顯像管熒光屏生產、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水。

      5、液晶顯示器的生產、屏面需用純水清洗和用純水配液。

      6、晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制。

      7、集成電路生產中高純水清洗硅片。

      8、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路。

      9、LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏。

      10、高品質顯像管、螢光粉生產。

      11、半導體材料、晶元材料生產、加工、清洗。

      12、超純材料和超純化學試劑、超純化工材料。

      13、實驗室和中試車間。

      14、汽車、家電表面拋光處理。

      15、光電產品、其他高科技精微產品。



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      四、光電行業用超純水設備制備工藝

      1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統工藝)

      2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(最新工藝)

      3、預處理→一級反滲透→加藥機(PH調節)→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(最新工藝)

      4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(最新工藝)

      5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統工藝)



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